计量技术

先进设备

• Zygo^® VeriFire™ 高分辨率 干涉仪干涉仪是用于测量微小位移、折射率变化和表面不规则度的仪器。它们将来自单一光源的光分成两束独立的光，这两束光经过不同的光路后再重新聚合。然后形成干涉条纹，提供两条路径之间光路长度差异的信息。干涉仪通常用于测量光学元件的表面精度。
• QED ASI 非球面拼接 干涉仪干涉仪是用于测量微小位移、折射率变化和表面不规则度的仪器。它们将来自单一光源的光分成两束独立的光，这两束光经过不同的光路后再重新聚合。然后形成干涉条纹，提供两条路径之间光路长度差异的信息。干涉仪通常用于测量光学元件的表面精度。
• Fujinan 干涉仪干涉仪是用于测量微小位移、折射率变化和表面不规则度的仪器。它们将来自单一光源的光分成两束独立的光，这两束光经过不同的光路后再重新聚合。然后形成干涉条纹，提供两条路径之间光路长度差异的信息。干涉仪通常用于测量光学元件的表面精度。
• Xonox 干涉仪干涉仪是用于测量微小位移、折射率变化和表面不规则度的仪器。它们将来自单一光源的光分成两束独立的光，这两束光经过不同的光路后再重新聚合。然后形成干涉条纹，提供两条路径之间光路长度差异的信息。干涉仪通常用于测量光学元件的表面精度。
• TRIOPTICS Opticentric^® 定心测量仪 定心测量仪用于测量镜片机械轴和光学轴之间的偏差。
• Zeiss Contura G2 三坐标测量仪 CMMsCMM 或坐标测量机是用于测量光学仪器物理尺寸的仪器。它们可以由计算机控制，也可以手动操作。
• Talysurf PGI1240 轮廓仪轮廓仪是用于测量光学器件表面形貌的仪器，可提供有关曲率、平面度和不规则度的信息。
• LUPHOScan 非接触式 3D 轮廓仪轮廓仪是用于测量光学器件表面形貌的仪器，可提供有关曲率、平面度和不规则度的信息。
• Zygo^® NewView™ 光学轮廓仪
• OptiPro UltraSurf 4X 100 计量系统
• OGP Smartscope
• 尼康 自动准直仪自动准直仪是一种光学仪器，用于对角度进行非接触式测量。它们通常被用于测量棱镜角度的公差精度。
• DigiMicro 显微镜 显微镜用于确定光学元件的表面质量。
• 奥林巴斯 MX51 显微镜 显微镜用于确定光学元件的表面质量。
• Park Systems XE-100 原子力显微镜（AFM） 原子力显微镜（AFM）通过一个极小而锋利的探头在样品表面扫描，以原子分辨率测量样品的表面形貌。这种针对表面的三维重建用于量化表面粗糙度。
• Shack-Hartmann 波前传感器（SHWFS） Shack-Hartmann 波前传感器（SHWFS）使用微透镜阵列测量光学元件或系统的透射和反射波前误差，动态范围广，精度高。
• 腔衰荡光谱仪（CRDS） 腔衰荡光谱仪（CRDS）通过测量发送到由两个高反射镜围成的谐振腔中的激光脉冲的衰减，对反射和透射光学器件进行高灵敏度损耗测量。

Zygo^® VeriFire™ 高分辨率干涉仪