Zaber™ 真空兼容电动位移台专为集成于真空系统中而设计,提供 10⁻⁶ Torr 高真空型和 10⁻³ Torr 低真空型两种配置选项。位移台主体组件经过特殊设计,可以抑制真空腔体内污染物的气体逸出,针对高真空环境下的热管理进行了优化设计,而且整套平台系统通过极少的馈通导线连接至计算机接口。Zaber™ 真空兼容电动位移台提供线性、360°旋转及测角仪配置,可在真空环境中构建完整的六自由度系统。本系列产品非常适用于高真空条件下的制造与加工过程,例如半导体加工或光学镀膜。
请注意: 配件套件 #75-301为本产品必需配件,且单独销售。
美国关税价格通知: 本产品系列中部分产品的价格可能会反映美国近期对加拿大原产产品的关税调整。所示价格已包含任何适用的关税相关调整;结账时不会加收额外的关税附加费。
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