Zaber™真空兼容电动位移台

Zaber™ 真空兼容电动位移台专为集成于真空系统中而设计，提供 10⁻⁶ Torr 高真空型和 10⁻³ Torr 低真空型两种配置选项。位移台主体组件经过特殊设计，可以抑制真空腔体内污染物的气体逸出，针对高真空环境下的热管理进行了优化设计，而且整套平台系统通过极少的馈通导线连接至计算机接口。Zaber™ 真空兼容电动位移台提供线性、360°旋转及测角仪配置，可在真空环境中构建完整的六自由度系统。本系列产品非常适用于高真空条件下的制造与加工过程，例如半导体加工或光学镀膜。

请注意: 配件套件 #75-301为本产品必需配件，且单独销售。