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20mm Travel, Low Vacuum (10-3 Torr) Motorized Vertical Translation Stage, Integrated Controller

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规格

概况

类型:
Metric
编码器:
No
手动控制/LED 指示灯:
No
生产商:
Zaber Technologies Inc.
型号:
X-VSR20A-SV1T9
注意 :
Requires Accessory Kit, #75-301, for operation.
电机类型 :
2-Phase Stepper

物理和机械特性

Type of Movement:
Linear (Z)
Guide System:
Ball Bearing
工作台大小 (mm):
73.0 x 91.5
行程 (mm):
20
精度 (μm):
50
齿隙 (μm):
<35
高度 (mm):
75.0
负载容量 (kg):
10
负载容量 (N):
100
重复性 (μm):
<1
速度 (mm/s) :
0.000058 - 28
推力 (N):
200
重量 (kg):
0.56

光学特性

分辨率 (μm):
0.952

电气性能

电流 (mA):
950
Maximum Operating Current (mA):
950

硬件与接口连接

驱动类型:
Lead Screw
电源:
24-48 VDC; Power Supply w/US Plug found in accessories kit, #75-301
计算机接口 :
RS-232, USB

材料特性

真空兼容性 :
Low vacuum (10-3 Torr)

环境和耐用性因素

工作温度 (°C):
0 to +50

合规性

RoHS 2015:
Certificate of Conformance:
Reach 247:

产品概览

  • 提供低真空 (10-3 Torr)和高真空 (10-6 Torr)两种选项
  • 提供360°旋转、线性、垂直移动平台以及测角仪选项
  • 通过极少的馈通导线进行控制

Zaber™ 真空兼容电动位移台专为集成于真空系统中而设计,提供 10⁻⁶ Torr 高真空型和 10⁻³ Torr 低真空型两种配置选项。位移台主体组件经过特殊设计,可以抑制真空腔体内污染物的气体逸出,针对高真空环境下的热管理进行了优化设计,而且整套平台系统通过极少的馈通导线连接至计算机接口。Zaber™ 真空兼容电动位移台提供线性、360°旋转及测角仪配置,可在真空环境中构建完整的六自由度系统。本系列产品非常适用于高真空条件下的制造与加工过程,例如半导体加工或光学镀膜。

请注意: 配件套件 #75-301为本产品必需配件,且单独销售。

 
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