发布时间: 2017年9月 | 查看所有光学新动态

随着光源、数字传感器和镀膜机技术的不断发展，光学滤光片也自然而然地随之发展并不断进步。光学滤光片对于自动化、能源、医疗成像、安保和多元件光学系统中需求最严苛的一些应用非常关键。

这些发展需要开发新基底（例如柔性薄膜聚合物，以及包括硅与锗在内的红外级材料），或采用产生高透射率的新化学品与化合物，以及在紫外与红外光谱内具有高截止率的滤光片。镀膜机技术的进步带来了精度更高的滤光片，这些滤光片能产生<1nm的带宽，而公差<1%，这真正将顶级分光光度计的功能发挥到了极致。随着每项技术的进步，公差与规格已进一步获得优化，从而产生表面质量、表面平整度、平行度及传输波前更好的精密基底。

在几乎每项消费应用和科学应用中，新材料、亚纳米规格、深紫外到远红外的光谱范围以及经过改善的各种公差将不断推动光学和光电子学的发展。

• 超窄
   
• 拓宽光谱范围
   
• 纤薄、柔性
   
• 更严格的公差与规格
   

超窄设计

许多年来，激光线滤光片的带宽精度只能窄到1.5 – 2nm，但是随着镀膜技术与计量的新发展，激光线滤光片现在可以在整个可见光光谱范围内实现<1nm的带宽精度。该精度将为单光子成像应用、拉曼成像应用以及对非常细微和微弱的信号进行探测的其他成像应用带来极大受益。

图1 (左): 355nm与533nm超窄带通滤光片的透射图

拓宽光谱范围

镀硬膜滤光片主要用于针对波长大约为400 – 1800nm的可见光与近红外光谱范围进行聚焦。镀膜与材料设计领域的最新发展与技术进步已经将该范围拓宽至紫外与红外区域，范围涵盖最低250nm至最高7300nm。

图2 (左): 波长7.30µm、直径25mm的红外长波通滤光片的透射图 (#68-656)

纤薄、柔性材料

使用独特的挤压工艺可以制造超薄柔性滤光片，该滤光片具有厚度低至200µm的聚合材料设计。这些滤光片还具备不易划伤和柔性的特点，由此可以满足难度高的集成任务，集成到一些形状最复杂的紧凑光学系统中。

图3 (左): 全聚合物柔性滤光片的结构

更严格的公差与规格

对滤光片镀膜所使用的溅射平台涉及到危险的温度、压力和以极高速度移动的颗粒。因此，很难确保滤光片表面洁净、平整并保持原始状态。在传统的磁控溅射与离子束溅射平台中，表面规格（例如平行度、表面质量、表面平整度、传输波前以及放大率或不规则度）通常会受损；这些技术的发展会带来表面公差更严格的滤光片。

图4 (右): 用于为光学滤光片镀膜的爱特蒙特光学溅射平台