反射镜金属镀膜
Edmund Optics Inc.

反射镜金属镀膜

和增透膜一样,金属反射膜在设计的时候也需要考虑光谱范围Edmund Optics®可为您提供一系列的金属保护膜,具有高反射率值,用于波长范围从 250nm 到 10μm 以上的应用。我们的标准金属反射膜包括保护性铝膜、增强性铝膜、紫外线增强性铝膜、保护性金膜和保护性银膜。保护性铝膜和增强性铝膜通常用于可视的应用。紫外线增强性铝膜可用于紫外线和可视应用。保护性金膜为红外线或近红外线波长提供高反射率。保护性银膜提供介于 500-800nm 的最高反射率,但由于其对变色敏感,最适用于作为后方表面反射镜。

第一表面镜和第二表面镜简介

First Surface Mirror
图 1: First Surface Mirror
Second Surface Mirror
图 2: Second Surface Mirror

Edmund Optics® 提供各种镜基片和镀有标准金属膜、激光线膜、以及自定义宽带、窄带、单激光线、双激光线和激光线分光镜膜。我们所有的反射镜产品都是第一表面镜(见图1)具有高反射率膜,如金属或多层介质,沉积在玻璃基片的一个表面上(我们也提供了一些金属基片反射镜的同类产品)。相比之下,第二表面镜(见图2)与第一表面镜的制造方式相同,但在镀膜表面具有额外盖玻片(通常是镀银)用于保护。该盖玻片保护膜层免受划伤和氧化。Edmund Optics 建议使用第一表面镜,而非第二表面镜的三大原因(图2)如下:

  1. 在第二表面镜上的入射光受盖玻片反射发生散射。玻璃趋于分散光,造成不同的波长在不同的角度折射。
  2. 由于在盖玻片发生菲涅尔反射,反射光呈现鬼影,由红色虚线表示。
  3. 由于菲涅尔反射,在每个界面的反射损失约占4%,使用第二表面镜反射效率减少。

标准公制反射镜镀膜规格

保护性铝膜

保护性铝膜是我们最畅销的反射镜膜,应用于可见光和近红外线。一氧化碳(SiO)的一半波长用作大衣,以保护脆弱的铝。这种方法提供了耐磨的表面,同时保持铝的性能。

增强型铝膜和紫外加硬铝膜

铝表面的多层介质膜用于增强可见光或紫外线区域的反射。增强性铝膜是应用于 400-650nm 增加反射的理想选择,而紫外线增强性铝膜适用于 250nm-400nm 产生增加的反射。多层薄膜还提供保护铝涂膜的处理特性。

带保护膜的金膜

带保护膜的金膜广泛应用于要求高反射率的近红外和红外波段。由于这些反射镜需要进一步装配,需要这种膜层持久耐用,因此我们在金膜上面加镀了一层一氧化硅膜层。金膜的性能没有改变(在750nm-1500nm之间的反射率为96%),而其耐用性能得到了大幅提高。

带保护膜的银膜

带保护膜的银膜在可见光和红外区域有着出色的反射率,是宽带光谱应用的最佳选择。 银膜在500-800nm 反射率>98%,保护膜降低银被污染的倾向,非常适合低湿度环境。

图 3: 金属反射镜膜反射率曲线,理论上通过 10μm 反射率逐渐上升

 

表1: 金属反射镜膜信息
名称波长范围反射规格典型能量密度极限
VUV 加硬铝膜 120-125nm Ravg >78%  
120-700nm Ravg >88%
DUV 加硬铝膜 190-195nm Ravg >88%  
190-600nm Ravg >85%
UV 加硬铝膜 250-450nm Ravg >89% 0.5 J/cm2 @ 355nm, 10ns
250-700nm Ravg >85%
保护性铝膜 400-700nm Ravg >85% 0.3 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns
400-2000nm Ravg >90%
加硬铝膜 450-650nm Ravg >95% 0.2 J/cm2 @ 532nm, 10ns
保护性银膜 450-2000nm Ravg >98% 0.5 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns
2000-10000nm Ravg >98%
超快增强型银膜 600-1000nm Ravg >96% 0.3 J/cm2 @ 532nm & 1064nm, 10ns
保护性金膜 700-2000nm Ravg >96% 0.8 J/cm2 @ 1064nm, 10ns
2000-10000nm Ravg >96%
裸金膜 700-800nm Ravg >94%  
800-20000nm Ravg >97%
2000-12000nm Ravg >98%
Reflectance Curves for Metallic Mirror Coatings
图 4:金属镀膜反射镜的典型反射曲线

 

可定制反射镜膜

Edmund Optics® 是一家为反射镜、分光镜、窗口片及其它光学元件提供激光镀膜的领先设计及制造商。我们与许多测试实验室合作,独立认证我们的镀膜激光损伤阈值。所有指定的损伤阈值通过多种膜层测试,确保测试结果的精确性。指定值为保守估计,典型数据表明我们的反射镜能够承受2-3倍的指定阈值。

我们能够设计和制造的单个或多个激光线膜,以及用于宽带可调谐激光源。镀膜设计也可用于部分反射镜、输出耦合器和标准具,以及任何入射角度或偏振态。我们的世界级制造设施能够在任何玻璃和最晶体的基片中生产表面精度<λ/20,10-5表面质量,<0.5角秒的平行度,和表面粗糙度<5埃的基片。我们也将为客户提供的基片进行原型制造或产品生产。

对于高功率应用,镀膜设计师选择相关波长的内在低吸收材料。但客户也需要知道,高功率应用镀膜材料的选择是有限的。系统设计者出色地设计光学,从光学设计过程的开始选择适当的损伤阈值。

使用高功率紫外线(UV)激光的镀膜是由用于可见光和近红外(IR)的不同材料制成的。高反射膜的核心结构通常是高低折射层交叠,四分之一波长厚。镀膜设计可以显著地改变损伤阈值。简单地增加低折射率材料(一般为二氧化硅)的半波作为最后一层可大幅提高损伤阈值。二氧化硅(SiO2)是普遍接受和普遍选择的低折射率层,并且在总体介质金属氧化物是首选材料,用于紫外线、可见光和近红外激光的应用。选择高指标层材料并不是很常见:钛、钽、锆、铪、钪、铌的氧化物是所有流行的高折射率材料。

BBHR 和 NBHR(陷波滤光片)

  • 可见宽带:Ravg >98%, 425-675nm, 0-45° AOI
  • 陷波滤光片:R >90% @中心波长(CWL), FWHM < 0.12 CWL, Tavg >90%用于带外波长
  • 定制镀膜可选300-1800nm(BBHR)和350-850nm(陷波)之间的波长
Broadband and Narrow Band High Reflectors
图 5: Broadband and Narrow Band High Reflectors

单、双激光线反射镜

  • 最大反射率在波段1或波段2客户选定波长为 190-3000nm(单线)或 350 -1700nm(双线)
  • 单线:R >99.5%,在设计波长
  • 双线:R >98.5%,在两种波长范围
Dual Laser Line Reflector
图 6: Dual Laser Line Reflector

激光线分光器

  • 部分反射率从 5%R 至 95%R,按用户要求定制
  • 反射规格:R% = ±2%; 一般:R% = ±1%
  • 45°,随机和非偏振版本
  • 设计波长 250-3000nm
Laser Line Beamsplitter Coatings
图 7: Laser Line Beamsplitter Coatings
Note: All graphs and values are typical and for reference only.
Edmund Optics Products – Standard metallic mirror coatings are available on the following optics:
Mirrors

反射镜

Prisms

棱镜

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