极紫外 (EUV) 二向色滤光片

极紫外（EUV）二向色滤光片也被称为分束镜，是通过在极紫外（EUV）和近红外波长之间提供高分离效率，用于高次谐波产生的应用。这些滤光片采用熔融石英基片，相比其他布鲁斯特角光束分离器和极紫外（EUV）滤光片，能支持更高的激光功率。极紫外（EUV）二向色滤光片的带宽范围从10纳米到40纳米。 除了高次谐波产生，这些滤光片还可用于支持极紫外（EUV）应用的系统，如EUV光刻、EUV纳米加工、相干衍射成像和超快阿秒脉冲产生。