CaliBall™干涉校准设备

通过使用任意球压试验(RBT)，CaliBall™用于校准干涉仪传输球形。任意球压试验曾经非常流行，但是受球形材料限制了其测量精度。而 CaliBall克服了克这个精度限制，因为它由硅酸盐材料做成。直径为25mm的球分5个等级 (圆度为125nm)，表面精度达到1.3nm rms，为不透明材料，反射率11%。Caliball™，在定标环境可以重复使用多次而不老化的一种实用解决方案。

CaliBall™是在一个运动可调件上有三个球，装在坚固的钢铁基台上，切掉一边，此时f/0.7传输球就可被校正。CaliBall™装备有显示圆度和光洁度的证明、完整的使用说明书和洁净室适合存贮事宜。