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更容易获得的紫外(UV)激光器开辟了新可能

 

高能紫外光子可提高精度和性能

 

传统上的紫外激光器价格昂贵、体积庞大

 

新一代更小型、更经济的紫外激光器越来越容易获得

 

允许在半导体检查、显微镜和消毒方面取得进展

许多激光光学应用正在转向使用更短的紫外波长,因为它可以提高分辨率,生成非常小而精确的特征,同时对周围区域的加热最小。连续波(CW)紫外激光光源的高成本和笨重的尺寸,传统上阻止了其在许多情况下的应用,尤其是在大学研究中。如今,新一波紧凑型、经济高效的紫外激光器打破了这一障碍,从而将紫外应用范围从微机械加工扩大到紫外拉曼光谱及灭活病原体的消毒。

为什么使用紫外激光器?

由于聚焦激光光斑尺寸与波长成正比,紫外激光器可以获得比红外或可见光激光更高的空间分辨率。这使它们能够用于半导体工业或微机械加工中的精确缺陷检测。在加工许多材料时,紫外激光器可以直接断裂原子键而不是汽化或熔化材料,从而减少外围加热。紫外波长的高能量非常适合激发包括蛋白质在内的生物分子的荧光,这在广泛的生物医学应用中是非常有用。此外,紫外激光器可以用于高效消毒系统,与紫外灯或 LED 相比,紫外激光器可以通过提供高功率的紫外线辐射(波长在200-280纳米之间),从而更有效地对表面进行消毒。1

对表面进行消毒以消除潜在的病原体
使用紫外激光器对众多应用都非常有益,如:荧光显微镜生物医学系统

图 1: 使用紫外激光器对众多应用都非常有益,包括荧光显微镜生物医学系统(左)及消除潜在病原体的表面消毒工作(右)。1

旧的紫外激光技术有什么问题呢?

连续波(CW)紫外激光器传统上是通过使用离子化氩气作为增益介质或频率四倍的近红外钕激光器来实现的。四倍频系统需要两个外部谐振腔将初始光束的频率加倍一次,然后在另一个腔中重复这一过程。2 这些系统很复杂,它们和氩离子激光器都至少有两个鞋盒那么大,这导致它们无法用于便携式设备。

新一代无障碍紫外激光器

紫外激光技术的进步带来了更小、更经济的设备。UVC Photonics 公司开发的新型、掺镨的氟化钇锂(YLF)激光器通过频率加倍而不是频率四倍产生 261nm 激光束(图2)。2 这大大降低了系统的复杂性和所需的零部件数量。这些激光器的操作与激光二极管类似,不需要复杂的电子装置来锁定共振腔或稳定温度。

UVC Photonics 公司的紧凑型紫外激光器由一个蓝色泵浦二极管、一个镨钕晶体、另一个用于二次谐波生成(SHG)的晶体和一个腔体输出镜组成 UVC Photonics 公司的紧凑型紫外激光器由一个蓝色泵浦二极管、一个镨钕晶体、另一个用于二次谐波发生(SHG)的晶体和一个空腔输出镜组成。

图 2: UVC Photonics公司的紧凑型紫外激光器由一个蓝色泵浦二极管、一个镨钕晶体、另一个用于二次谐波生成(SHG)的晶体和一个腔体输出镜组成。2
图片由 UVC Photonics 公司提供。

UVC Photonics 的激光器在 261nm 波长下连续输出功率 >10mW, 工作功耗小于 5W,尺寸仅为 22 x 24 x 71mm。1 这些特性使其成为便携式或手持式系统,以及大学实验室和工业应用的理想选择,而其他紫外激光器在这些应用领域成本高昂。氩离子激光器通常消耗10几千瓦的功率,并产生10鈥W的功率,而频率四倍的紫外激光器可以产生高达 500mW 或更大的功率。虽然旧技术可以达到更高的功率,但其明显更大的尺寸和高昂的成本使其对某些应用的吸引力降低。这些二极管模块的窄线宽和连续波功能也使它们非常适用于 UV 紫外拉曼光谱。更多信息可以前往 UVC Photonics鈥? 网站 查看。

Edmund Optics 的紫外激光光学元件

Edmund Optics庐 设计和制造广泛的激光光学元件,包括专为紫外光波长量身定做的元件。严格的表面公差和高激光损伤阈值使我们的紫外激光器光学元件能够满足紫外激光系统的苛刻需求。许多设计用于 266nm(Nd:YAG 激光器的第四次谐波)的光学元件在 261nm 处也能很好地运行。定制化的镀膜和部件的几何形状也可以根据您的特定应用进行定制。

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Nd:YAG 激光谱线反射镜

  • 在 Nd:YAG 谐波频率下(包括266nm)的反射率 >99.2%
  • 高激光损伤阈值规格
  • 10-5 的表面质量用于减少敏感激光应用中的散射
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激光线凹面镜s

  • 是聚焦激光的理想选择
  • 在中心波长的反射率 >99.8%
  • 采用具有热稳定性高的熔融石英基底
  • 可提供 266nm 的设计
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IBS 镀膜激光反射

  • 用于低损耗和高反射率的 IBS 反射镜镀膜
  • 经认证的高激光损伤阈值
  • 采用超抛光基底可提供百万分之一级散射性能
  • 可提供 266nm 的设计
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精密紫外反射镜

  • 设计波长 120nm 和 190nm
  • 在指定范围内平均反射率 >85%。
  • 增强金属镀膜在可见光区域的宽带反射率
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精密球面紫外反射镜

  • 设计波长 120nm 和 190nm
  • 聚焦 VUV 或 DUV 光的理想选择
  • 通过可见光和红外波段的宽带反射率
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激光线 λ/20 高精度直角反射棱镜

  • 在设计波长下反射率超过>99.5%
  • ±15 弧秒角度公差
  • 基片热稳定性高
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激光级平凸(PCX)透镜

  • 有保证的激光损伤阈值
  • 表面质量 10-5
  • 位/10 表面精度
  • 266nm设计
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激光级激光线柱面透镜

  • 用于 Nd:YAG 谐波 <0.25% 增透镀膜
  • 采用熔融石英基底
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OD 4.0 5nm镀加硬膜的带通滤光片

  • 深度阻断和高透射
  • 陡峭的透射和截止坡度
  • 另有镀加硬膜OD 4.0 的10nm、25nm 和 50nm 带通滤光片可选
  • 可提供 266NM 的设计
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位/20 高功率激光谱线窗口片

  • 266nm、355nm、 532nm 或 1064nm 的反射率 <0.25%。
  • 低自动荧光
  • 损伤阈值高达 10 J/cm2 @ 10ns @ 1064nm
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位/10 激光谱线镀膜窗口片

  • 表面质量 10-5
  • 设计波长下的损伤阈值
  • 直径从 12.5mm 到 50.8mm 可供选择
  • 可提供 266nm 的设计
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织女星(Vega鈩?)激光谱线扩束镜

  • 用于激光波长的增透镀膜:266Nm、355nm、405nm、532nm、1064nm 和 1940nm
  • 可提供 1.5 倍至 20 倍的固定放大率
  • 可通过旋转光学设计调整发散度

参考文献:

  1. UVC Photonics(2021)。Deep Ultraviolet Laser Modules.UVC Photonics 公司。www.uvcphotonics.com.
  2. Buchter, Scott (2021).Compact deep-ultraviolet CW lasers lead to new commercial applications.Laser Focus World. www.laserfocusworld.com/lasers-sources/article/14205517/compact-deepultraviolet-cw-lasers-lead-to-new-commercial-applications.

常见问题

常见问题  为什么 UVC Photonics 公司使用的激光技术没有得到更广泛的应用?
在达到商业用途所需的质量和一致性的同时,生长用于新一代紫外激光器的掺镨氟化物晶体是一项非常具有挑战性的工作。2 UVC Photonics 公司之所以能在行业中脱颖而出,是因为他们有能力正确地生长这些晶体。
常见问题  一些应用是否正转向小于 261nm 的波长?

是的,某些高精度的实验室应用正在向 10-100nm 的极紫外(EUV)波长发展,尽管这在工业上还没有广泛使用。有关这一趋势的更多信息,可在此 查看。

常见问题  与紫外激光器一起使用的光学元件是否会随着时间的推移而退化?

是的,紫外线激光辐射的高能量随着时间的推移会使光学镀膜和基底退化,这本质上使得紫外激光光学元件成为一种耗材。

技术资源

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    应用要点
     
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    视频
     
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    线上研讨会
     

应用要点

技术信息和应用范例,内容包括理论说明、方程式、图片说明等.

紫外光学:文章:《更严格的公差和不同的材料》
阅读  

文章:《为什么激光损伤测试对紫外线激光应用至关重要》
阅读  

文章:《了解并指定激光元件的 LIDT》
Read  

文章:《激光系统的关键参数》
阅读  

文章:《激光光学的计量学》
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视频

含有丰富信息的企业视频或教学视频,涵盖从简单小贴士到以基于应用的方式来示范产品优点等的内容。

激光光学实验室简介 
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Edmund Optics 的计量能力:测量是制造的关键环节
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网络研讨会

由 Edmund Optics? 专家团队专门录制的网络研讨会视频,内容覆盖广泛的光学和成像主题。

激光应用中的高反射率反射镜
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超低表面粗糙度抛光 
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