Name: 13.5nm, 25.4mm Dia, 5° AOI, EUV Flat Mirror
SKU: 38-759
Price: RMB 22,211.28

13.5nm, 25.4mm Dia, 5° AOI, EUV Flat Mirror

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

产品编码 #38-759 6-10 工作日

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直径 (mm):

25.40 ±0.25

表面平整度 (P-V):

λ/10 @ 632.8nm

Single Crystal Silicon

后表面:

Commercial Polish

表面质量:

10 - 5

涂层规格:

R_abs >60% @ 13.5nm, 5° (s-pol)

涂层:

Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon

镀膜类型:

Metal/Semiconductor

入射角 (°):

有效孔径 (%):

设计波长 DWL (nm):

13.5

边缘:

Fine Ground

平行度（弧分）:

表面粗糙度（埃）:

<5 RMS

厚度 (mm):

6.35 ±0.508

厚度容差 (mm):

0.508

类型:

Flat Mirror

波长范围 (nm):

13.18 - 13.68

半峰全宽 FWHM (nm):

0.50

Center Energy (eV):

合规性

RoHS:

符合标准

Certificate of Conformance:

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产品系列说明

最大可实现 13.5nm 反射
专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计
5°和45°自动光学检验的可用版本

极紫外平面反射镜是多层反射镜，在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上，表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束，而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.

注意: 附带每个反射镜运行样本的测试数据.