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查看此系列 2 款产品

13.5nm, 25.4mm Dia, 5° AOI, EUV Flat Mirror

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

Extreme Ultraviolet (EUV) Flat Mirrors

×
产品编码 #38-759
- +
RMB 20,340.00
数量 1+
RMB 20,340.00
含税批量价格
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直径 (mm):
25.40 ±0.25
基底: Many glass manufacturers offer the same material characteristics under different trade names. Learn More
Single Crystal Silicon
涂层规格:
R >60% @ 13.5nm
涂层:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
镀膜类型:
Metal/Semiconductor
入射角 (°):
5
表面粗糙度(埃):
<3 RMS
厚度 (mm):
6.35 ±0.508
厚度容差 (mm):
0.508
类型:
Flat Mirror
波长范围 (nm):
13.18 - 13.68
表面平整度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
半峰全宽 FWHM (nm):
0.98

合规性

产品系列说明

  • 最大可实现 13.5nm 反射
  • 专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计
  • 5°和45°自动光学检验的可用版本

极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上,表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束,而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。极紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.

注意: 附带每个反射镜运行样本的测试数据.

技术数据

技术数据

Compatible Mounts

标题  类型 比较 产品编码  含税价格 Buy
25.0/25.4mm 光学直径, SM1 薄型镜架, M4 Fixed #13-787 RMB 148.31
数量 5+ RMB 140.69 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.0/25.4mm 光学直径, SM1 薄型镜架, 8-32 Fixed #13-788 RMB 148.31
数量 5+ RMB 140.69 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm 光学直径, 薄型反射镜镜架, M4 Fixed #13-590 RMB 152.55
数量 5+ RMB 144.92 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm 光学直径, 薄型反射镜镜架, 8-32 Fixed #13-591 RMB 152.55
数量 5+ RMB 144.92 索取报价
  • 有现货
    ×
透镜安装座,兼容透镜尺寸25.4mm x 10mm Fixed #64-561 RMB 237.30
数量 10+ RMB 213.57 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
透镜安装座,兼容透镜尺寸25.4mm x 13mm Fixed #64-562 RMB 237.30
数量 10+ RMB 213.57 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.0/25.4mm Optic Dia., E-Series Kinematic Mount Adjustable - Tip-Tilt #15-866 RMB 330.53
数量 10+ RMB 313.58 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.0/25.4mm Optic Dia., SM1 Thin Mount, M4, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-536 RMB 444.94 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.0/25.4mm Optic Dia., SM1 Thin Mount, 8-32, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-537 RMB 444.94 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm Optic Dia., Thin Mirror Mount, M4, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-534 RMB 449.18 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm Optic Dia., Thin Mirror Mount, 8-32, Quick Start Optical Mounts Fixed #17-535 RMB 449.18 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
外径53mm,3螺钉调整环座 Fixed #03-668 RMB 474.60
数量 10+ RMB 419.51 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm L- 槽形方位装置 Fixed #36-410 RMB 504.26 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm侧面法兰方位装置 Fixed #36-414 RMB 504.26 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
95mm外径,三螺钮调整架 Fixed #36-605 RMB 593.25
数量 10+ RMB 525.45 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25/25.4mm Diameter, E-Series Kinematic Mount, Quick Start Optical Mounts Adjustable - Tip-Tilt #17-521 RMB 627.15 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
光学镜片调整架,25/25.4mm直径光学孔径,2个调节螺丝 Adjustable - Tip-Tilt #58-851 RMB 694.95
数量 5+ RMB 625.46 索取报价
透镜安装座,兼容透镜尺寸25.4mm x 10mm Fixed #17-515 RMB 728.00 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.4mm L- 槽形和转向方位装置 Adjustable - Rotary #36-411 RMB 728.85 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
光学镜片调整架,25/25.4mm直径光学孔径,3个调节螺丝 Adjustable - Tip-Tilt #58-854 RMB 762.75
数量 5+ RMB 686.48 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
40mm镜片调整支架 Fixed #03-676 RMB 762.75
数量 10+ RMB 686.48 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
外径137mm,3螺钉调整环座 Fixed #03-670 RMB 813.60
数量 10+ RMB 720.38 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
67mm镜片调整支架 Fixed #03-669 RMB 830.55
数量 10+ RMB 745.80 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
60mm, 杆型镜片/滤光片 夹持器 Fixed #55-530 RMB 830.55
数量 10+ RMB 745.80 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
118mm镜片调整支架 Fixed #03-666 RMB 855.98
数量 10+ RMB 771.23 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
1“直径,光学元件组件 Fixed #36-461 RMB 898.35
数量 10+ RMB 796.65 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
光学镜片调整架,25/25.4mm直径光学孔径,3个调节螺丝 Adjustable - Tip-Tilt #17-523 RMB 1,059.38 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
67mm镜片调整支架 Fixed #17-530 RMB 1,144.13 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
4.0 - 36.0mm Optic Dia., Self-Centering Jaw Clamp Fixed #16-077 RMB 1,152.60
数量 5+ RMB 1,017.00 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
X-Y方向位移调整台,25.4mm最大光学直径 Adjustable - Linear (XY) #62-956 RMB 2,076.38
数量 5+ RMB 1,974.68 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
X-Y方向位移调整台,25.4mm最大光学直径 Adjustable - Linear (XY) #17-513 RMB 2,396.73 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25/25.4mm Kinematic镜片夹具 Adjustable - Tip-Tilt #55-003 RMB 2,534.03
数量 5+ RMB 2,406.90 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25/25.4mm(带测微器)Kinematic镜片安装座 Adjustable - Tip-Tilt #55-456 RMB 2,712.00
数量 5+ RMB 2,576.40 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
5.0 - 100.0mm Optic Dia., Self-Centering Jaw Clamp Fixed #16-078 RMB 3,017.10
数量 5+ RMB 2,661.15 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25/25.4mm(带测微器)Kinematic镜片安装座 Adjustable - Tip-Tilt #17-519 RMB 3,075.58 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
X-Y-Z方向位移调整台,25.4mm最大光学直径 Adjustable - Linear (XYZ) #62-959 RMB 4,076.48
数量 5+ RMB 3,669.68 索取报价
  • 6-10 工作日
    ×
25.0/25.4mm Optic Dia., 5 Axes Optical Mount Adjustable - Linear (XYZ) & Tip-Tilt #13-776 RMB 5,678.25
数量 5+ RMB 5,398.58 索取报价
  • 6-10 工作日
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