尼康（Nikon）干涉测量物镜

干涉测量物镜可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与 Mirau 系列物镜比起来，Michelson 系列物镜拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的景深。Mirau 系列物镜用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用 Nikon（尼康） 200mm 镜筒 (#58-520) 的话可将物镜直接装配到 C 接口相机上。