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尼康(Nikon)干涉测量物镜

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Nikon Interferometry Objectives

Nikon Interferometry Objectives
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  • 适合非接触光学压型
  • 可选 Michelson 系列 和 Mirau 系列物镜
  • 200mm镜筒远场校正设计

干涉测量物镜可用在非接触光学压型测量设备上,通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度,测量精度非常高,在一个波长之内。一束光通过分光镜,可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合,就产生了干涉图案。与 Mirau 系列物镜比起来,Michelson 系列物镜拥有更长的工作距离,更宽的视场和更大的景深。Mirau 系列物镜用在需要高倍率和/或大数值孔径的场合。采用 Nikon(尼康) 200mm 镜筒 (#58-520) 的话可将物镜直接装配到 C 接口相机上。

 
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