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Extreme Ultraviolet (EUV) Dichroic Filters
极紫外(EUV)二向色滤光片也被称为分束镜,是通过在极紫外(EUV)和近红外波长之间提供高分离效率,用于高次谐波产生的应用。这些滤光片采用熔融石英基片,相比其他布鲁斯特角光束分离器和极紫外(EUV)滤光片,能支持更高的激光功率。极紫外(EUV)二向色滤光片的带宽范围从10纳米到40纳米。 除了高次谐波产生,这些滤光片还可用于支持极紫外(EUV)应用的系统,如EUV光刻、EUV纳米加工、相干衍射成像和超快阿秒脉冲产生。
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