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CaliBall™干涉校准设备


  • 校准传输球
  • 1.3nm有效值完成
  • 包括运动件和相关证书

通过使用任意球压试验(RBT),CaliBall™用于校准干涉仪传输球形。任意球压试验曾经非常流行,但是受球形材料限制了其测量精度。而 CaliBall克服了克这个精度限制,因为它由硅酸盐材料做成。直径为25mm的球分5个等级 (圆度为125nm),表面精度达到1.3nm rms,为不透明材料,反射率11%。Caliball™,在定标环境可以重复使用多次而不老化的一种实用解决方案。

CaliBall™是在一个运动可调件上有三个球,装在坚固的钢铁基台上,切掉一边,此时f/0.7传输球就可被校正。CaliBall™装备有显示圆度和光洁度的证明、完整的使用说明书和洁净室适合存贮事宜。

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