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经NIST认证的表面光洁度标准

NIST Traceable Scratch Dig Standards

NIST Traceable Scratch Dig Standards


本表面质量标准可用于判定光学元件表面上的擦痕和疵点属于哪个级别。本品带60mm刻尺,每个面上都有6个尺寸不一的栅格,6个频率不一的刻线,栅格可用来测量不规则区域的缺陷,缺陷区域的等级数就是在这个面积下不良项的平方根。标准要求设置两个面,1面包括等级范围从0.004到0.040,而2面范围从0.040到0.400。第一个面等级标号标在玻璃衬底上面,第二个面等级标号标在玻璃衬底下面。阳版采用不透明图案,背景透明,阴版为透明图案,背景不透明。

注意: 每个产品都有承诺书。

技术信息

Plate 1
Grade No. Circ. Diameter (μm) Dim. of Scratch (μm) Freq. Block (lp/mm) Grid Block Line W (μm) Grid Block Line Spacing (μm)
0.004 4.5 1 x 16 500 1 4.5
0.006 7 1.6 x 25 312.5 1.6 7
0.010 11 2.5 x 40 200 2.5 11
0.016 18 4 x 63 125 4 18
0.025 28 6.3 x 100 80 6.3 28
0.040 45 10 x 160 50 10 45
Plate 2
Grade No. Circ. Diameter (μm) Dim. of Scratch (μm) Freq. Block (lp/mm) Grid Block Line W (μm) Grid Block Line Spacing (μm)
0.040 45 10 x 160 50 10 45
0.060 70 16 x 225 31.25 10 70
0.100 110 25 x 400 20 10 110
0.160 180 40 x 630 12.5 10 180
0.250 280 63 x 1000 8 10 280
0.400 450 100 x 1600 5 10 450

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